第205回フロンティア材料研究所学術講演会「シリコンMEMS共振器の研究」（2025年12月1日）
| 開催日時 | 2025年12月1日（金） 13:00 –14:00 |
| 開催場所 | 東京科学大学すずかけ台キャンパス R2棟1階・第一セミナー室（地図⑫） |
| 主催 | 東京科学大学 総合研究院 フロンティア材料研究所 |
| 連絡先 | 稲邑 朋也 教授 |
プログラム等
講師：鈴木 健一郎 先生（立命館大学理工学部機械工学科 名誉教授）
演題：シリコンMEMS共振器の研究
講演概要：シリコンMEMS共振器は，数キロヘルツから数ギガヘルツの広い共振周波数帯に対応することが可能である。一方，水晶と異なった固有の材料的性質をもっているため，電気機械変換の方式等に独特な工夫をすることが必要である．今回，シリコン共振器の原理に基づいて，数キロヘルツのジャイロセンサから100MHzのMEMS発振器までの研究を紹介する。
