（46）走査電子顕微鏡・エネルギー分散型X線元素分析装置

（46）走査電子顕微鏡・エネルギー分散型X線元素分析装置
管理研究室	笹川研究室
管理者	笹川　崇男
管理補助者
設置場所	J1棟 815号室
装置概要	走査電子顕微鏡(SEM)により試料表面形状を高倍率で観察しながら、電子線により発生する特性X線を分析することおにより、観測部分の元素分析（B~U元素までの定性・定量）が同時に行える装置
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